01
ຕູ້ບັນຈຸອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກ (MEGC)
ວັນທີ 31-03-2020
ລາຍລະອຽດຂອງອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກ MEGC ອາຍແກັສອີເລັກໂທຣນິກ MEGC ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການຂົນສົ່ງອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກຫຼາຍເຊັ່ນ SiF4, SF6, C2F6 ແລະ N2O. ການຂົນສົ່ງຫຼາຍປະກອບມີການຂົນສົ່ງທາງຖະຫນົນແລະທາງທະເລ.
ເບິ່ງລາຍລະອຽດ